力敏傳感器的種類很多,有直接將力變換為電量的如壓電式、壓阻式等,有經彈性敏感元件轉換后再轉換成電量的如電阻式、電容式和電感式等。它主要用于兩個方面:測力和稱重。主要分為以下幾種:
1、應變式傳感器
2、電感式傳感器
3、電容式傳感器
4、壓電式傳感器
力敏傳感器的原理分析以下主要是介紹了電阻式變式傳感器、固態壓阻式傳感器及壓電傳感器的工作原理。
一、電阻應變式傳感器:
電阻應變式傳感器是通過彈性敏感元件將外部的應力轉換成應變ε,再根據電阻應變效應,由電阻應變片將應變轉換成電阻值的微小變化,通過測量電橋轉換成電壓或電流的輸出。
圖 電阻應變式傳感器的原理框圖:
二、固態壓阻式傳感器:
固態壓阻式傳感器的工作主要基于壓阻效應,而壓阻效應是在半導體材料上施加作用力時,其電阻率將發生顯著變化的現象。
三、 壓電傳感器:
1、壓電效應:
當某些晶體或多晶體陶瓷在一定的方向上受到外力作用時,在某兩個對應的晶面上,會產生符號相反的電荷。當外力消失時,電荷也消失;當外力改變方向時,兩晶面上的電荷符號也隨之改變。
壓電傳感器就是以壓電效應為基礎,將力學量轉換為電量的器件。
典型的具有壓電效應的物質有石英晶體、壓電陶瓷和高分子壓電材料等。
2、石英晶體的壓電效應:
石英晶體的外形是規則的六角棱柱體,它有三個晶軸,如下圖所示。
圖 石英晶體的坐標軸和切片:
1).縱向壓電效應:沿著X軸對晶片施加力時,在垂直于X軸的表面上產生電荷。如圖1所示。產生的電荷與作用力的大小成正比,與晶片尺寸無關。
圖1 晶片受力方向與電荷極性的關系:
2).橫向壓電效應:沿著Y軸對晶片施加壓力時,在垂直于X軸的表面上產生電荷。如圖1所示。產生的電荷與作用力的大小成正比,與晶片尺寸有關。
3).壓電效應的產生機理:(圖2所示)
圖2 壓電效應的產生機理:
3、壓電陶瓷的壓電效應:
壓電陶瓷是人工制造的具有電疇結構的多晶壓電材料。它的壓電機理與壓電晶體不同。
原始的壓電陶瓷不具有壓電特性,電疇無規則排列。當外加直流電場時,使得電疇規則排列,這時壓電陶瓷就有了壓電特性。在極化電場去除后,電疇方向基本不變,留下了很強的剩余極化。極化過的壓電陶瓷受力后就產生了電荷。見圖3所示。壓電陶瓷的壓電系數比石英晶體的大得多,因此其靈敏度較高。
圖3 壓電陶瓷的極化過程和壓電特性:
力敏傳感器的參數及應用量程:0~1~150(MPa)
綜合精度:0.2%FS、0.5%FS、1.0%FS
輸出信號:4~20mA(二線制)、0~5V、1~5V、0~10V(三線制)
供電電壓:24DCV(9~36DCV)
介質溫度:-20~85~150℃
環境溫度:常溫(-20~85℃)
負載電阻:電流輸出型:最大800Ω;
電壓輸出型:大于50KΩ
絕緣電阻:大于2000MΩ(100VDC
密封等級:IP65
長期穩定性能:0.1%FS/年
振動影響:在機械振動頻率20Hz~1000Hz內,輸出變化小于0.1%FS
電氣接口(信號接口):四芯屏蔽線、四芯航空接插件、緊線螺母
機械連接(螺紋接口):1/2-20UNF、M14×1.5、M20×1.5、M22×1.5等。
廣泛用于工業設備、水利、化工、醫療、電力、空調、金剛石壓機、冶金、車輛制動、樓宇供水等壓力測量與控制。
力敏傳感器的智能化發展隨著計算機控制、通訊、網絡等技術的發展,信息交換溝通的領域正在迅速覆蓋從工廠的現場設備層到控制、管理各層次。集控數據處理平臺,業已成熟,網絡數據采集傳感器,國內尚處萌芽。在力敏傳感器的基礎上,進行技術拓展,提升其信息化水平,形成具有數字化、無線化、智能化、網絡化功能的新型智能化網絡力敏傳感器。
力敏傳感器的智能化發展分三個階段:
第一階段力敏傳感器數字化,實現傳輸方式的數字化,同時解決傳統產品抗干擾能力差的問題。
第二階段力敏傳感器智能化,實現人—機交流,同時解決傳統產品精度低、穩定性差的問題。
第三階段力敏傳感器網絡化,實現工業遠程集中控制,解決傳統產品在工業控制中必須一次儀表+二次儀表配合,造成部分功能冗余的問題。其實質將計算機信息技術與傳感器技術有機融合為一體,全面提升傳感器數據傳輸功能和數據處理、判斷功能。
近幾十年來微電子技術、計算機網絡技術發生了巨大變化,洞察當今高科技,無不是傳感器技術與計算機信息技術的結合。工業控制從單機控制走向集中監控、集散控制。在進入網絡時代的今天,工業控制器連網也為網絡管理提供了方便。特別是嵌入式系統,片上系統SOC(System on Chip)給電子信息產業及 IC 應用帶來劃時代的進步。信息技術滲入傳感器之中勢不可擋,相互融合更是大勢所趨。傳感器行業向智能化、單片系統化、網絡化的方向發展已是大勢所趨。